本發(fā)明公開一種元素形成揮發(fā)物時效率增強的方法，它是向形成元素揮發(fā)物的反應(yīng)體系中添加水溶性的小分子有機化合物，其中添加水溶性的小分子有機化合物的體積濃度是反應(yīng)體系體積的0.25?4%；所述的反應(yīng)體系指的是：螯合試劑和含元素樣品溶液的混合溶液；所述的水溶性的小分子有機化合物是水溶性的醇、雜環(huán)。所述的螯合試劑：含元素樣品溶液體積比為0.1:1?1:0.25。本發(fā)明可用于儀器分析中的元素樣品引入，以提高元素分析的靈敏度、改善檢出限；也可用于化學(xué)氣相沉積及無機鍍膜的氣態(tài)先驅(qū)物的制備。