含氧的n-型beta-FeSi2納米線是經(jīng)由化學(xué)氣相沉積法(Chemical?Vapor?Deposition)來合成。在650℃~950℃的溫度范圍間,經(jīng)由載流氣體(carrier?gas)將前驅(qū)物FeCl3運送到硅基板處反應(yīng)生成n-型β相的FeSi2,β-FeSi2的結(jié)構(gòu)可以經(jīng)由XRD和TEM的分析交互比對來獲得證實,且其結(jié)構(gòu)的形貌也可經(jīng)由SEM直接觀測。綜合以上分析,在650℃~950℃的溫度之間找到一個穩(wěn)定的方法來合成n-型β-FeSi2納米線。
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“含氧的n-型β-硅化鐵(FeSi2)及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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