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半導體清洗設(shè)備

1175   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:32:26
本發(fā)明提供一種半導體清洗設(shè)備,包括本體和設(shè)置在本體中的化學液槽、水槽、化學液排放管、水排放管、清洗液配給組件和液體檢測部件,化學液槽和水槽分別用于對晶片進行化學清洗和水洗,清洗液配給組件分別與化學液槽和水槽連通,用于分別向化學液槽和水槽輸送化學液體和水;化學液排放管一端與化學液槽連通,另一端貫穿本體延伸至本體外部,用于使化學液槽中的化學液體排放至本體外部,水排放管一端與水槽連通,另一端貫穿本體延伸至本體外部,用于使水槽中的水排放至本體外部,液體檢測部件用于對泄漏至本體中的液體進行檢測。本發(fā)明提供的半導體清洗設(shè)備能夠降低本體漏液現(xiàn)象發(fā)生的概率,從而降低安全事故發(fā)生的概率,提高使用安全性。
聲明:
“半導體清洗設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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