亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 樣品去層次方法

樣品去層次方法

1015   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:45:48
本發(fā)明涉及一種樣品去層次方法,用于半導(dǎo)體芯片的失效分析,包括以下步驟:步驟S1、所述半導(dǎo)體芯片具有一目標(biāo)區(qū)域;步驟S2、研磨所述半導(dǎo)體芯片,并停止于位于所述層間介質(zhì)層上表面的所述金屬層;步驟S3、形成一保護(hù)膜層,所述保護(hù)膜層覆蓋所述目標(biāo)區(qū)域的正上方的所述金屬層的上表面;步驟S4、繼續(xù)研磨所述半導(dǎo)體芯片,去除位于所述保護(hù)膜層下方的所述金屬層之外的所述金屬層;步驟S5、去除所述保護(hù)膜層;步驟S6、去除所述金屬層;步驟S7、去除所述半導(dǎo)體襯底上表面的其余物質(zhì),露出所述半導(dǎo)體襯底。其優(yōu)點(diǎn)在于,設(shè)置一層保護(hù)膜層,避免出現(xiàn)化學(xué)試劑與金屬層反應(yīng),保障半導(dǎo)體襯底不被損傷以及污染;有效提高失效分析的準(zhǔn)確性,提高工作效率。
聲明:
“樣品去層次方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記