本發(fā)明涉及一種高穩(wěn)定性薄膜氫氣傳感器及其使用方法，該薄膜氫氣傳感器包括基底、設(shè)置在基底上的用于檢測(cè)氫氣濃度的氫氣測(cè)量單元及用于控制所述氫氣測(cè)量單元溫度的溫度控制單元，氫氣測(cè)量單元包括由多個(gè)電化學(xué)特性相同的氫敏電阻元件組成的具有4個(gè)橋臂的惠斯通電橋結(jié)構(gòu)，該4個(gè)橋臂上的氫敏電阻元件的個(gè)數(shù)相同，且在該4個(gè)橋臂中的其中2個(gè)橋臂的氫敏電阻元件的表面設(shè)有用于隔離氫氣的鈍化復(fù)合鍍層，該2個(gè)橋臂為相對(duì)的2個(gè)橋臂。本發(fā)明采用基于惠斯通電橋結(jié)構(gòu)的氫氣測(cè)量單元，傳感器固有不穩(wěn)定性引起的漂移和溫度漂移可相互抵消，靈敏度是單一氫敏電阻的2倍，顯著改善了薄膜氫氣傳感器的穩(wěn)定性。