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高純氣體緩存、調(diào)節(jié)以及輸送柜

771   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:55:20
本發(fā)明屬于化學氣體的儲存和控制技術(shù)領域,更具體地,涉及一種高純氣體緩存、調(diào)節(jié)以及輸送柜。采用可拆卸的分隔板和管道安裝板可以將氣柜做的很小的情形下,很便利的對不同功能區(qū)的氣體元件進行安裝、檢修和更換;采用保溫單元和密封條的組合可以確保不同的單元區(qū)氣體和溫度環(huán)境保持獨立、確保每個功能區(qū)的溫度精細控制,另外使用的材料不會有顆粒的產(chǎn)生,保證了潔凈度;采用高純氮氣對每個功能區(qū)保持微正壓,可以避免空氣中的粉塵、水汽進入柜體,給氣體元件營造一個高潔凈度、低濕度的環(huán)境;采用排風口,可以在檢測到有泄漏時及時開啟排風抽走而不用打開柜門,盡可能降低環(huán)境污染和對操作人員的傷害。
聲明:
“高純氣體緩存、調(diào)節(jié)以及輸送柜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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