本發(fā)明提供了一種CVD機(jī)臺的晶圓傳送系統(tǒng)，包括：淀積腔體，用于收容晶圓以進(jìn)行化學(xué)氣相沉積；傳送臂，用于將晶圓傳送到淀積腔體；還包括：光信號發(fā)生器，安裝在傳送臂上，用于向晶圓發(fā)射光信號；光傳感器，用于監(jiān)測光信號發(fā)生器發(fā)出的光信號。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：通過設(shè)置光信號發(fā)生器和光傳感器，檢測晶圓和傳送臂的相對位置，避免將不符合要求的晶圓送入淀積腔體。