本發(fā)明提供一種通過固?固相燒結(jié)法制備高純度YIG(釔鐵石榴石，分子式：Y3Fe5O12)鐵氧體靶材的方法。該方法主要通過改變反應(yīng)原材料Fe2O3和Y2O3的配比，來消除YIG鐵氧體靶材制備過程中產(chǎn)生的YFeO3雜質(zhì)。生成YIG化學(xué)反應(yīng)有兩個(gè)步驟：首先，F(xiàn)e2O3和Y2O3反應(yīng)生成YFeO3。然后，YFeO3和Fe2O3繼續(xù)反應(yīng)最終生成YIG。通過額外添加原材料Fe2O3的量，按照分子式：5(Y2O3)3(1+x)Fe2O3(x取值0～5％)來配料。將原材料通過配料混合、一次球磨、一次烘干、預(yù)燒、二次球磨、二次烘干、造粒過篩、壓片成型、高溫?zé)Y(jié)抽樣檢測等步驟，得到所需的YIG鐵氧體靶材。該方法能明顯提高YIG鐵氧體靶材的純度和飽和磁化強(qiáng)度，達(dá)到增加旋磁效果、降低磁滯損耗的目的。