采用化學(xué)蝕刻加工方法,以形成具有擴(kuò)散電阻的薄壁部分的半導(dǎo)體加速度傳感器,擴(kuò)散電阻用來(lái)檢測(cè)位移造成的電阻阻值變化,在切割刮刀上利用電蝕現(xiàn)象和切割磨料顆粒的電泳現(xiàn)象,以消除加工蛻化或微裂縫問(wèn)題。
聲明:
“半導(dǎo)體加速度傳感器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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