本發(fā)明涉及一種基于共價有機框架薄膜的敏感材料、濕度傳感器及其制備方法，包括以下步驟：在保護氣氛下，取COF?5材料的單體與溶劑A混合均勻得到前驅(qū)體溶液；將前驅(qū)體溶液滴涂到預(yù)處理過的基底表面，與裝有溶劑B的敞開式器皿一同放入反應(yīng)器中，密封保存；通過蒸汽輔助法或/和光化學(xué)反應(yīng)法，在基底表面合成固體薄膜，通過清洗干燥，得到敏感材料。濕度傳感器包括叉指電極以及敏感材料。本發(fā)明共價有機框架薄膜敏感材料具有高柔性，應(yīng)用于濕度傳感器中，所制造的濕度傳感器是一種高性能的柔性可穿戴式傳感器，可實現(xiàn)全濕度范圍內(nèi)的快速線性響應(yīng)，并在不同角度的彎折狀態(tài)下具有高度性能一致性，可用于呼吸檢測、指尖接觸等實際場景應(yīng)用。