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半導(dǎo)體表面增強(qiáng)拉曼散射的金剛石基底及其制備方法

923   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:08:39
本發(fā)明的半導(dǎo)體表面增強(qiáng)拉曼散射的金剛石基底及其制備方法,屬于拉曼散射信號(hào)增強(qiáng)的技術(shù)領(lǐng)域。金剛石基底的結(jié)構(gòu)在硅片或金剛石的襯底表面生長(zhǎng)有摻雜硼、氮、硫、磷、硫氮或磷氮等的金剛石膜。采用化學(xué)氣相沉積方法在襯底上沉積摻雜金剛石膜;制得的摻雜金剛石膜還可以進(jìn)行表面功能化處理,獲得表面氫終止或氧終止的摻雜金剛石膜,以提高增強(qiáng)因子。本發(fā)明首次以金剛石材料作為一種新的半導(dǎo)體SERS基底,具有高靈敏度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性、以及具有良好生物兼容性;增強(qiáng)因子可達(dá)到102?105,并可用于多種不同的探針分子檢測(cè)。
聲明:
“半導(dǎo)體表面增強(qiáng)拉曼散射的金剛石基底及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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