本實用新型屬于光學(xué)傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種基于光學(xué)游標(biāo)效應(yīng)的法布里帕羅結(jié)構(gòu)耦合腔傳感
芯片。本實用新型的傳感芯片包括三塊平面反射鏡以及兩個方形石英微管;兩塊平面反射鏡與兩個方形石英微管中間形成傳感腔;中間平面反射鏡與下部平面反射鏡形成參考腔;方形石英微管為中空結(jié)構(gòu),兩端開口,可以與微流空系統(tǒng)結(jié)合;本實用新型可將傳統(tǒng)法布里帕羅諧振腔傳感芯片的靈敏度進(jìn)行20?40倍的放大,避免了傳統(tǒng)法布里帕羅諧振腔傳感器對高品質(zhì)因子的需求,可以實現(xiàn)對于超低微量濃度、超小物理量的化學(xué)生物試劑的檢測;此法布里帕羅結(jié)構(gòu)耦合腔制作方便,操作簡單,整體設(shè)計成本較低。
聲明:
“基于光學(xué)游標(biāo)效應(yīng)的法布里帕羅結(jié)構(gòu)耦合腔傳感芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)