本發(fā)明提供了一種透射電子顯微鏡樣品結(jié)染色的方法,包括:切割樣品的第一側(cè)面至距離待測(cè)結(jié)側(cè)向地距離第一預(yù)定厚度的SiO2的位置處;使用第一化學(xué)試劑去除第一側(cè)面上剩余的全部SiO2;使用第二化學(xué)試劑去除待測(cè)結(jié)中的摻雜硅;完成透射電子顯微鏡樣品的第二側(cè)面的切割制備,形成透射電子顯微鏡樣品薄片,其中離子束不直接切到Si,而側(cè)向地保留距離待測(cè)結(jié)的第二預(yù)定厚度的SiO2。
聲明:
“透射電子顯微鏡樣品結(jié)染色的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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