在本發(fā)明中提供了一種用于原子層沉積的裝置和方法,該裝置和方法能減小化學(xué)用品和反應(yīng)氣體的混合。通過(guò)安裝和監(jiān)測(cè)前級(jí)管道(26),第一產(chǎn)物母體和第二產(chǎn)物母體只有在合適的時(shí)間和位置處才能與其它化學(xué)藥品和反應(yīng)氣體混合。還有,提供了獨(dú)立和專用的腔室出口(17、29)、隔離閥(24、34)、排氣前級(jí)管道(22、36)和排氣泵(20、30),它們?cè)谛枰獣r(shí)用于驅(qū)動(dòng)特定氣體。
聲明:
“原子層沉積裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)