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碲鎘汞鈍化膜層工藝參數(shù)確定方法及裝置

1154   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:14:38
本發(fā)明公開(kāi)了一種碲鎘汞鈍化膜層工藝參數(shù)確定方法及裝置,所述方法包括:分別將膜層沉積系統(tǒng)的各工藝參數(shù)作為唯一變量,在襯底濺射一層或多層化學(xué)膜層;對(duì)所述化學(xué)膜層進(jìn)行折射率測(cè)試,獲取所述化學(xué)膜層的折射率隨各工藝參數(shù)的變化曲線(xiàn),并根據(jù)所述變化曲線(xiàn)獲取所述化學(xué)膜層的折射率最大點(diǎn)對(duì)應(yīng)的各個(gè)工藝參數(shù)的數(shù)值;將所述數(shù)值作為膜層沉積系統(tǒng)沉積所述化學(xué)膜層時(shí)的工藝參數(shù)。
聲明:
“碲鎘汞鈍化膜層工藝參數(shù)確定方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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