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氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備

926 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:14:39

本發(fā)明公開了一種氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備，涉及化學氣相沉積裝置清洗技術領域。本發(fā)明的一種氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備，包括一次剝離→二次剝離→研磨→噴砂→化學拋光→OVEN烘干→出庫檢查→包裝；未剝離干凈的氣體擴散器進行二次剝離，所述二次剝離包括濕式噴砂→高壓水洗，通過采用濕式噴砂去除局部殘留，減少藥液浸泡，避免孔徑擴張，以保證氣體擴散器孔徑擴張量<0.03mm；另外，采用濕式噴砂局部作業(yè)時表面粗糙度不會明顯變大，可滿足氣體擴散器表面具有一定粗糙度的要求，并保證研磨的均勻性。

聲明：

“氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)