本發(fā)明提供了一種冗余圖形添加優(yōu)化的算法,包括:查找出版圖圖形的正向異常的區(qū)域和負(fù)向異常的區(qū)域;對(duì)正向異常的區(qū)域的圖形進(jìn)行正向異常區(qū)域的冗余圖形的優(yōu)化和負(fù)向異常的區(qū)域的圖形進(jìn)行負(fù)向異常區(qū)域的冗余圖形的優(yōu)化;化學(xué)機(jī)械平坦化模型預(yù)測(cè)優(yōu)化后的冗余圖形的表面形貌;若預(yù)測(cè)的表面形貌達(dá)到設(shè)定值,則對(duì)版圖中添加的冗余圖形優(yōu)化成功。本發(fā)明優(yōu)化了已有冗余圖形,并且將化學(xué)機(jī)械平坦化模型預(yù)測(cè)優(yōu)化后的冗余圖形的表面形貌作為添加的冗余圖形的反饋手段,可以對(duì)不同產(chǎn)品間各層次的版圖局部圖形分布的均勻性進(jìn)行優(yōu)化,進(jìn)而提高冗余圖形添加的優(yōu)化效果,提高工藝加工后各層次表面形貌的均勻性,降低后續(xù)制造工藝的工藝缺陷。
聲明:
“優(yōu)化冗余圖形的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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