實(shí)施方式涉及一種半導(dǎo)體制造裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法。實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置包括:載臺(tái),具有多個(gè)銷,用于保持半導(dǎo)體襯底,所述半導(dǎo)體襯底具有形成了蝕刻對(duì)象膜的第1面、及位于第1面相反側(cè)的第2面;噴嘴,從載臺(tái)的上方向半導(dǎo)體襯底的第1面噴出化學(xué)藥品;以及光測(cè)量部,在化學(xué)藥品的噴出過程中,從載臺(tái)側(cè)向半導(dǎo)體襯底的第2面照射光,并基于被第2面反射的光的受光狀態(tài)來測(cè)量半導(dǎo)體襯底的移位量。
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“半導(dǎo)體制造裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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