本發(fā)明涉及一種集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法,該傳感器的特點是采用隔熱作用的硅膜,硅膜懸在將硅片局部挖空而形成的空腔上,并由腔體壁所支撐,用作加熱器的硅電阻器和熱探測器的Si/Al熱偶堆分別制作在硅膜上。硅膜是采用擴(kuò)散或離子注入、硅外延、陽極氧化、腐蝕多孔硅、物理或化學(xué)氣相淀積絕緣介質(zhì)等技術(shù)制備的。本方法制作的器件,靈敏度高,響應(yīng)速度快且有利于集成、降低成本和大批量生產(chǎn)。
聲明:
“集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)