本發(fā)明公開了一種片上集成光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及制備方法,其制備包括鈮酸鋰薄膜表面上鍍金屬鉻膜、飛秒激光直寫鉻膜層、化學(xué)機(jī)械拋光、反應(yīng)離子刻蝕以及鉻膜腐蝕等步驟。本發(fā)明方法制備流程結(jié)合了化學(xué)機(jī)械拋光的側(cè)壁及表面光潔度以及反應(yīng)離子刻蝕的側(cè)壁陡直度的優(yōu)勢(shì),可大規(guī)模制備高度復(fù)雜且具有高精密結(jié)構(gòu)的片上集成光子器件,包括光學(xué)調(diào)制器、波分復(fù)用器、微型激光器、濾波器,在光通信、量子計(jì)算、精密測(cè)量等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。
聲明:
“片上集成光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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