本發(fā)明提供了浸漬化學(xué)處理系統(tǒng)以及對(duì)基片進(jìn)行浸漬處理的方法,所述系統(tǒng)能夠?qū)n槽提供所需的至少兩種化學(xué)藥劑的混合物。該系統(tǒng)能夠極為精確地生成具有一個(gè)或多個(gè)所需特性的混合物,這至少部分地由于該系統(tǒng)能夠監(jiān)測混合物的至少一個(gè)特性或浸漬處理的至少一個(gè)參數(shù),并利用所收集的信息對(duì)一個(gè)或多個(gè)已知與其有關(guān)的處理參數(shù)提供動(dòng)態(tài)閉環(huán)反饋控制。
聲明:
“用于浸漬處理的高級(jí)處理控制” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)