本實(shí)用新型公開了一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，可用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室，包括潔凈空間和回風(fēng)通道；所述潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板；所述天花板上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)風(fēng)機(jī)濾器單元；所述循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)過濾單元，所述過濾單元包括化學(xué)過濾器和風(fēng)機(jī)；還包括污染物濃度監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型的潔凈室可以用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房，在循環(huán)空間和/或回風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)過濾單元，從而將化學(xué)過濾器過濾的潔凈空氣和直接從潔凈空間出來的空氣進(jìn)行預(yù)混合，因而實(shí)現(xiàn)了維持潔凈空間內(nèi)污染物濃度恒定的控制。