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激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置

743 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:23:06

本發(fā)明涉及一種激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像、質譜成像及光譜測量技術領域。本發(fā)明將差動共焦顯微成像技術與光譜、質譜探測技術結合，利用高空間分辨差動共焦系統(tǒng)對樣品進行軸向定焦與成像，利用質譜探測系統(tǒng)對樣品微區(qū)帶電分子、原子等進行質譜探測，利用光譜探測系統(tǒng)對差動共焦顯微系統(tǒng)聚焦光斑激發(fā)光譜(拉曼光譜、誘導擊穿光譜)進行微區(qū)光譜探測，實現(xiàn)樣品微區(qū)完整組分信息與形態(tài)參數(shù)的高空間分辨和高靈敏成像與探測。本發(fā)明實現(xiàn)激光多譜(質譜、拉曼光譜和激光誘導擊穿光譜)組分成像探測的優(yōu)勢互補和結構功能融合，在生物、材料、物理化學、微納制造等領域有廣泛的應用前景。

聲明：

“激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)