本發(fā)明涉及一種激光共焦LIBS、拉曼光譜與質(zhì)譜成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像、質(zhì)譜成像及光譜測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將共焦顯微成像技術(shù)與光譜、質(zhì)譜探測(cè)技術(shù)結(jié)合，利用高空間分辨共焦系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行軸向定焦與成像，利用質(zhì)譜探測(cè)系統(tǒng)對(duì)樣品微區(qū)帶電分子、原子等進(jìn)行質(zhì)譜探測(cè)，利用光譜探測(cè)系統(tǒng)對(duì)共焦顯微系統(tǒng)聚焦光斑激發(fā)光譜(拉曼光譜、誘導(dǎo)擊穿光譜)進(jìn)行微區(qū)光譜探測(cè)，實(shí)現(xiàn)樣品微區(qū)完整組分信息與形態(tài)參數(shù)的高空間分辨和高靈敏成像與探測(cè)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)激光多譜(質(zhì)譜、拉曼光譜和激光誘導(dǎo)擊穿光譜)組分成像探測(cè)的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)和結(jié)構(gòu)功能融合，在生物、材料、物理化學(xué)、微納制造等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。