本申請(qǐng)公開了一種測(cè)量包括用于車輛流體在內(nèi)的流體壓力的壓力傳感器設(shè)備和組裝測(cè)量流體壓力的壓力傳感器的方法。壓力傳感器包括用于壓力測(cè)量的MEMS模具。該MEMS模具附接在玻璃底座元件上。該底座元件經(jīng)由能夠附接在流體容納腔壓力端口的安裝框架來機(jī)械保持在位。這里的技術(shù)提供了MEMS模具與壓力傳感器的堅(jiān)固連接,同時(shí)從MEMS模具解除熱膨脹應(yīng)力。采用該解除技術(shù),壓力測(cè)量可靠性和精度都得以改善。由于從MEMS模具解除熱膨脹應(yīng)力,選擇傳感器密封材料主要考慮自身的魯棒化學(xué)特性,而不是結(jié)構(gòu)特征。這項(xiàng)技術(shù)還提供了精確,持久耐用并且成本效率高的壓力傳感器。
聲明:
“壓力傳感器設(shè)備及其組裝方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)