本發(fā)明公開了一種共參比電極溫控式CO2-SOx集成氣體傳感器及其制備方法,所述傳感器自下而上分別為
氧化鋁基底,加熱元件與測(cè)溫元件,絕緣層,固體電解質(zhì)薄膜層,Au齒狀薄膜電極,CO2、SOx反應(yīng)電極和共參比電極。制備方法包括:在Al2O3基底上的采用印刷燒結(jié)工藝制備Pt或RuO2加熱和測(cè)溫元件;在厚膜微加熱元件結(jié)構(gòu)上,通過(guò)沉積工藝得到固體電解質(zhì)薄膜、Au齒狀電極、CO2反應(yīng)電極和SOx反應(yīng)電極、公共參比電極,以
電化學(xué)反應(yīng)方式形成薄厚膜工藝結(jié)合的CO2-SOx氣敏元件。通過(guò)測(cè)溫元件的反饋組成閉環(huán)溫度控制系統(tǒng),使傳感器的溫度達(dá)到各反應(yīng)電極工作所需的溫度,并保持恒定,保證了CO2-SOx氣體傳感器的最佳工作性能。
聲明:
“共參比電極溫控式CO2-SOx集成氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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