本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種雙活性電極氮氧化物傳感器
芯片及其制備方法。本發(fā)明中的氮氧化物傳感器芯片結(jié)構(gòu)簡單。在結(jié)構(gòu)上省去了三個(gè)
電化學(xué)氧泵、兩個(gè)腔室、一個(gè)參比空氣通道和三個(gè)引腳,極大地簡化了氮氧化物傳感器芯片的結(jié)構(gòu),制備過程簡單,省去了沖切、疊合和壓制的制備過程,使制備過程得到了較大的簡化;制備成本低,節(jié)省了沖切、疊合和壓制的制備過程的費(fèi)用;節(jié)省了制備氧化鋯基片過程中花費(fèi)的大量費(fèi)用;測量效果好,且能夠測量氮氧化物的含量,在
氧化鋁基片上同時(shí)集成了雙活性電極氮氧化物濃差電池能夠精確測量汽車尾氣中的氮氧化物含量;具有極大的經(jīng)濟(jì)價(jià)值和市場前景。
聲明:
“雙活性電極氮氧化物傳感器芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)