本發(fā)明公開了一種基于溫度補償結(jié)構(gòu)的氣體傳感器,主要解決現(xiàn)有氣體傳感器溫度分布不均的問題,其包括硅襯底(1)、下絕緣層(2)、溫度補償結(jié)構(gòu)加熱電極(3)、上電極板(9)、下電極板(4)、上絕緣層(5)、覆蓋層(6)、保護層(7)、測試電極(8)、測試極板(10)、加熱平臺(15)、懸臂(16)和氣敏膜(17),該硅襯底通過腐蝕形成空氣絕熱槽(11),該覆蓋層中間設(shè)有通孔陣列(12)和空氣隔熱層(13),該下電極板與上電極板之間設(shè)有接觸孔(14),該溫度補償結(jié)構(gòu)加熱電極由自內(nèi)向外厚度逐漸減小的m圈電極組成。本發(fā)明溫度分布均勻、功耗低,可用于化工生產(chǎn)和安全家居領(lǐng)域中對化學氣體的監(jiān)測。
聲明:
“基于溫度補償結(jié)構(gòu)的氣體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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