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單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法

838   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:36
本發(fā)明公開了一種單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法,在一片石英晶片上呈矩陣式集成若干QCM單元,各QCM單元涂覆與測(cè)量相對(duì)應(yīng)的敏感材料形成功能各異的QCM單元,配合低噪聲振蕩電路,形成各自的頻率信號(hào)輸出,各QCM單元設(shè)有退耦間隙用于隔離QCM單元之間的振動(dòng)耦合,使QCM單元之間振動(dòng)互不干擾各自獨(dú)立工作。通過在一片石英水晶上集成多單元QCM,這些QCM單元組合成矩陣,擁有各自的振蕩電路,構(gòu)成獨(dú)立的取向性各異的采集單元,可以同時(shí)測(cè)量多種氣體或化學(xué)物質(zhì)或生物細(xì)胞等,解決了QCM的功能單一問題,同時(shí)也具備成本低,集成度高,功能多樣化的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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