本發(fā)明涉及氧化鈦納米管陣列結(jié)構(gòu)應(yīng)用,具體為一種具有優(yōu)異低溫氧氣傳感 特性的無定型氧化鈦納米管陣列結(jié)構(gòu)及其制備方法,解決氧化鈦等大多數(shù)金屬氧 化物對氧氣的惰性表現(xiàn)。采用
電化學(xué)陽極氧化法得到n型半導(dǎo)體氧化鈦納米管陣 列,其結(jié)構(gòu)和物理特征是:無定形結(jié)構(gòu),長度1.0-20.0微米;外徑40-200納米; 載流子濃度范圍1.0×1018-1.0×1020cm-3;可測氧氣濃度區(qū)間200ppm-20.0vol.%; 工作溫度范圍50-250℃;靈敏度范圍0.1-1000。本發(fā)明無定型氧化鈦納米管陣列 是種低溫電阻控制型氧氣傳感器材料,具有靈敏度高、電阻隨濃度變化線性關(guān) 系好、探測濃度范圍廣、容易制備形成器件特點(diǎn),具有重要應(yīng)用價值。
聲明:
“無定型氧化鈦納米管陣列結(jié)構(gòu)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)