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二維硫化鉬/硫化銦橫向異質結及其制備方法和應用

664 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:56:36

本發(fā)明屬于二維材料異質結光探測領域，公開了一種二維硫化鉬/硫化銦橫向異質結及其制備方法和應用。該二維硫化鉬/硫化銦橫向異質結是通過化學氣相沉積法先將二氧化硅片平放在三氧化鉬粉末的上方，置于管式爐的中間，將升華硫粉末放置在管式爐氣流上游；在氮氣氣氛下，升溫至680～800℃保溫，在二氧化硅襯底上制得單層二維硫化鉬單晶，通過濕法將單層二硫化鉬轉移至云母片上；然后將云母片平放在三硫化二銦粉末的上方，放置在管式爐中間；升溫至750～980℃保溫，自然冷卻制得。本發(fā)明方法簡單，反應條件易于控制，生長的二維異質結穩(wěn)定，該異質結經(jīng)過光刻，顯影等步驟后，可成功在異質結兩端搭建電極，具有良好的光探測應用前景。

聲明：

“二維硫化鉬/硫化銦橫向異質結及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)