一種Tb、Mn和Ni三元共摻雜的低漏電流BiFeO3薄膜及其制備方法，將硝酸鉍、硝酸鐵、硝酸鋱、醋酸錳和乙酸鎳按（0.91-0.97）:（0.96-x）:（0.08-0.14）:0.04:x的摩爾比溶于由乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，然后攪拌均勻得到BiFeO3前驅(qū)液；其中，x=0.01～0.02；將BiFeO3前驅(qū)液旋涂在FTO/glass基片上制備濕膜，將濕膜烘烤得干膜，然后在550℃退火8～13min，得到晶態(tài)BiFeO3薄膜，待晶態(tài)BiFeO3薄膜冷卻后，再重復(fù)使晶態(tài)BiFeO3薄膜達(dá)到所需厚度，即得到Tb、Mn和Ni三元共摻雜的低漏電流BiFeO3薄膜。本發(fā)明設(shè)備要求簡(jiǎn)單，適宜在大的表面和形狀不規(guī)則的表面上制備薄膜，且化學(xué)組分精確可控，并且能夠提高薄膜的電性能，BiFeO3在350kV/cm的測(cè)試電場(chǎng)下漏電流密度仍保持在10-5A/cm2以下，在100kHz的測(cè)試頻率下介電常數(shù)為240～270。