本發(fā)明公開一種基于雙層納米光柵的微納陀螺儀及其加工方法，基于雙層納米光柵的微納陀螺儀包括玻璃襯底、支撐結(jié)構、雙質(zhì)量塊微諧振器和玻璃蓋帽，玻璃襯底、支撐結(jié)構和玻璃蓋帽由下至上依次連接形成空腔結(jié)構，雙質(zhì)量塊微諧振器設在支撐結(jié)構內(nèi)；雙質(zhì)量塊微諧振器包括兩組質(zhì)量塊、驅(qū)動框架、解耦梁和可動光柵，可動光柵設在質(zhì)量塊中心部，驅(qū)動框架設在質(zhì)量塊四周，解耦梁設在質(zhì)量塊外周四個拐角處，每個可動光柵正下方的支撐結(jié)構底部均設有固定光柵；玻璃蓋帽上對應驅(qū)動框架位置均勻設有電極通孔，每個電極通孔內(nèi)均設有與驅(qū)動框架相接的金屬焊盤。本發(fā)明具有質(zhì)量小、測量精度高、不受電磁干擾和便于批量生產(chǎn)優(yōu)點，應用范圍廣，有著良好的市場前景。
聲明：
“基于雙層納米光柵的微納陀螺儀及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月21日 ~ 23日 
