本實用新型公開了一種單片陣列式石英晶體微天平傳感器,在一片石英晶片上呈矩陣式集成若干QCM單元,各QCM單元涂覆與測量相對應的敏感材料形成功能各異的QCM單元,配合低噪聲振蕩電路,形成各自的頻率信號輸出,各QCM單元設有退耦間隙用于隔離QCM單元之間的振動耦合,使QCM單元之間振動互不干擾各自獨立工作。通過在一片石英水晶上集成多單元QCM,這些QCM單元組合成矩陣,擁有各自的振蕩電路,構成獨立的取向性各異的采集單元,可以同時測量多種氣體或化學物質或生物細胞等,解決了QCM的功能單一問題,同時也具備成本低,集成度高,功能多樣化的優(yōu)點。
聲明:
“單片陣列式石英晶體微天平傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)