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耐摩擦的鉑/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)及其制備方法

1142   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:51
本發(fā)明公開了一種耐摩擦的鉑/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)。該復(fù)合結(jié)構(gòu)位于SiO2/Si襯底上,由石墨烯和金屬鉑的微結(jié)構(gòu)陣列組成,其中石墨烯與襯底的SiO2層接觸,金屬鉑的微結(jié)構(gòu)陣列生長在石墨烯的表面。本發(fā)明將Pt金屬微結(jié)構(gòu)陣列與石墨烯構(gòu)成一種復(fù)合耐摩擦結(jié)構(gòu),以提高石墨烯材料的摩擦特性。制備步驟:利用化學(xué)氣體沉積方法在Cu箔上生長石墨烯材料,石墨烯材料的層數(shù)控制在4到10層之間,再采用FeCl3溶液腐蝕Cu箔并將石墨烯轉(zhuǎn)移到SiO/Si襯底之上,然后利用掩模和磁控濺射的方法,在石墨烯的表面生長Pt金屬微結(jié)構(gòu)陣列。經(jīng)摩擦-磨損測試表明,本發(fā)明的復(fù)合結(jié)構(gòu)具有非常優(yōu)良的摩擦性能,其制備方法簡單,適合應(yīng)用于一些需要耐摩擦的MEMS器件表面。
聲明:
“耐摩擦的鉑/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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