本發(fā)明公開一種基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法,包括光纖、石英套管、高純石英壓力敏感元;石英套管內(nèi)設有通孔,所述通孔內(nèi)插入所述光纖;石英壓力敏感元與石英套管連接。本發(fā)明能夠適用于除氫氟酸和150℃以上的熱磷酸以外的耐腐蝕等惡劣環(huán)境,因生物組織對石英材料不排斥所以也適用于顱內(nèi)壓的監(jiān)測等應用;并通過激光熱熔的方式免膠固定,能夠提高穩(wěn)定、可靠性和適用范圍;石英壓力敏感元的厚度由光學冷加工工藝控制,無需化學腐蝕等工藝,提高光纖傳感頭的穩(wěn)定性、可靠性和壽命;本發(fā)明制作過程簡單、快捷,傳感器安全可靠、穩(wěn)定性好,結合傳統(tǒng)的光學冷加工工藝能夠實現(xiàn)極小厚度的石英壓力敏感元熱熔。
聲明:
“基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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