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石墨烯場效應(yīng)晶體管的制備方法

957   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:58
本發(fā)明屬于場效應(yīng)晶體管技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種石墨烯場效應(yīng)晶體管的制備方法。該方法的步驟包括:提供紅外線可穿透的襯底;化學(xué)氣相淀積石墨烯形成石墨烯溝道層;在石墨烯溝道層上構(gòu)圖形成柵介質(zhì)層;以及在柵介質(zhì)層上構(gòu)圖形成柵端。其中,石墨烯溝道層可操作地在紅外線輻射下產(chǎn)生光電導(dǎo)效應(yīng),以使石墨烯場效應(yīng)晶體管的電學(xué)特性發(fā)生變化。該制備方法工藝過程簡單并易于與集成電路制造工藝兼容,所制備的場效應(yīng)晶體管具有靈敏度高、功耗低、超輕超穩(wěn)定的紅外探測功能,并且紅外吸收帶寬且可根據(jù)實際應(yīng)用需求可調(diào)。
聲明:
“石墨烯場效應(yīng)晶體管的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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