本申請(qǐng)一種用于制造電光裝置,特別是制造光電探測(cè)器(6)或電光調(diào)制器(6)的方法,其中設(shè)置波導(dǎo)(3)(S1),優(yōu)選地通過(guò)施加涂層材料的步驟,制造在所述波導(dǎo)(3)的至少一部分上方延伸的平坦化涂層(7)(S2),所述平坦化涂層(7)設(shè)有旋涂玻璃涂層(9)(S3),至少在所述旋涂玻璃涂層(9)的區(qū)域中,優(yōu)選地進(jìn)行干化學(xué)蝕刻處理,可選地,將提供具有旋涂玻璃涂層(9)的平坦化涂層(7)和蝕刻處理的步驟重復(fù)至少一次(S5、S6),并且在平坦化涂層(7)上或上方和在波導(dǎo)(3)上方設(shè)置有源元件(10)(S7),所述有源元件(10)包括至少一種材料或由至少一種材料組成,所述材料吸收至少一種波長(zhǎng)的電磁輻射,并且由于吸收和/或材料的折射率隨電壓和/或電荷和/或電場(chǎng)的存在的變化而變化,所述材料產(chǎn)生電光信號(hào)。
聲明:
“電光裝置的制造方法,以及電光裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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