本發(fā)明屬于
半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,公開了一種摻氮的Sb納米相變薄膜材料,其化學(xué)組成通式為SbNx,其中Sb代表銻元素,N代表氮原子,x代表不同的摻氮量標(biāo)記,x=1、2或3;經(jīng)EDS測(cè)定,x=1時(shí)摻入的氮原子百分比為9.6%,x=2時(shí)摻入的氮原子百分比為15.3%;x=3時(shí)摻入的氮原子百分比為22.5%。本發(fā)明的摻氮的Sb材料較好的解決了純Sb材料的缺點(diǎn)和不足。通過(guò)摻入不同的氮原子,使Sb的晶化溫度有了明顯的提高,數(shù)據(jù)保持能力得到加強(qiáng),因而提高了其穩(wěn)定性。同時(shí)通過(guò)晶態(tài)電阻的提高,使得其RESET功耗降低了。
聲明:
“摻氮的Sb納米相變薄膜材料及其制備方法與用途” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)