亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 基于夾固振膜結(jié)構(gòu)的微聲學(xué)器件

基于夾固振膜結(jié)構(gòu)的微聲學(xué)器件

835   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:39
基于夾固振膜結(jié)構(gòu)的微聲學(xué)器件,涉及一種微聲學(xué)器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。該器件由硅襯底和設(shè)置在其上的復(fù)合膜構(gòu)成,所述的復(fù)合膜由底層向上依次為硅層、熱氧層、氮化硅層、低溫淀積的二氧化硅層、金屬鈦粘附層、金屬鉑下電極層、鋯鈦酸鉛鐵電薄膜層、金屬鉑上電極層、等離子化學(xué)氣相淀積的二氧化硅層、金屬鋁引線層,該復(fù)合膜的四周與硅襯底固結(jié)在一起。本實(shí)用新型由于采用了四周夾固的振膜結(jié)構(gòu),并通過優(yōu)化設(shè)計(jì)膜層的尺寸,因而有效克服了微聲學(xué)器件懸臂振膜結(jié)構(gòu)存在的缺陷,具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、性能可靠、成品率高的突出性特點(diǎn)。測試表明,其聲學(xué)靈敏度在10mV/Pa量級,能夠滿足移動電話、助聽器和其他數(shù)字通訊系統(tǒng)音頻應(yīng)用的需要。
聲明:
“基于夾固振膜結(jié)構(gòu)的微聲學(xué)器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記