本發(fā)明提供一種遮擋式暗場(chǎng)共焦亞表面無損檢測(cè)裝置和方法，屬于光學(xué)精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。點(diǎn)光源發(fā)出的光依次經(jīng)過準(zhǔn)直鏡、遮擋式環(huán)形光發(fā)生器、分光棱鏡和物鏡，物鏡將激光匯聚至待測(cè)樣品，載有待測(cè)樣品信息的反射光和散射光依次經(jīng)過物鏡和分光棱鏡，入射至探測(cè)互補(bǔ)光闌，反射光被探測(cè)互補(bǔ)光闌遮擋，散射光依次經(jīng)過探測(cè)互補(bǔ)光闌、收集透鏡和探測(cè)針孔，最終入射至光電探測(cè)器，從而完成對(duì)亞表面的檢測(cè)。本發(fā)明采用遮擋式環(huán)形光發(fā)生器生成環(huán)形光，采用環(huán)形光束照明樣品，結(jié)合探測(cè)互補(bǔ)光闌實(shí)現(xiàn)暗場(chǎng)共焦，解決了普通共焦顯微技術(shù)檢測(cè)亞表面損傷信噪比低的問題，裝置簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn)，適用于亞表面無損檢測(cè)。