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無損檢驗方法

1054 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:57:56

一種無損檢驗方法包括 : 第一步, 產(chǎn)生波長范圍從 300nm到1200nm的激光, 并產(chǎn)生會聚到預定光束直徑的激光束第二步, 在生產(chǎn)過程期間, 預定電連接裝置構(gòu)成用于使在激光束照射到包括晶片狀態(tài)和安裝狀態(tài)的襯底中至少待檢驗的半導體芯片中形成的p－n結(jié)和該p－n結(jié)附近時由OBIC現(xiàn)象產(chǎn)生的OBIC(光束感應電流)電流通過的預定電流通路; 第三步, 在照射激光束時掃描半導體芯片的預定區(qū); 第四步, 磁通檢測裝置檢測在第三步驟中掃描的每個照射點由激光束產(chǎn)生的OBIC電流感應的磁通; 第五步, 根據(jù)第四步中檢測的所述磁通確定包括所述半導體芯片的照射點的電流通路中是否存在包括斷線缺陷的電阻增加缺陷, 或包括短路缺陷的泄漏缺陷。

聲明：

“無損檢驗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)