本發(fā)明提供的無損方阻及絨面測量裝置,屬于半導體檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括激光發(fā)射器、反射率檢測片、電容線圈組、第一放大器板和采樣測量裝置;激光發(fā)射器發(fā)射激光至半導體上產(chǎn)生光電壓;電容線圈組接收光電壓產(chǎn)生的靜電荷;反射率檢測片接收半導體反射的激光,將光信號轉(zhuǎn)換為電信號;第一放大器板接收靜電荷和電信號,并進行預(yù)處理得到第一中間數(shù)據(jù)和反射率檢測片接收功率;采樣測量裝置接收第一中間數(shù)據(jù)和反射率檢測片接收功率,并計算得到待測半導體的方阻值和絨面反射率。本發(fā)明在不損傷半導體絨面進行方阻測量的同時實時對絨面反射率進行檢測,既規(guī)避了現(xiàn)有的方阻測量給絨面帶來的損傷,也能實時在線檢測絨面的質(zhì)量,提高了半導體質(zhì)量檢測效率。
聲明:
“無損方阻及絨面測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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