本發(fā)明公開了一種基于光柵激光超聲聲譜的薄膜涂層厚度無(wú)損測(cè)量方法,強(qiáng)脈沖激光束經(jīng)過(guò)光學(xué)掩模板或微陣列透鏡照射到被測(cè)涂層表面形成周期分布的微小柵狀激光光斑,在被測(cè)區(qū)域激發(fā)固定波長(zhǎng)的超聲表面波,由于超聲表面波在多層介質(zhì)中的頻散特性,涂層厚度的變化會(huì)引起所激發(fā)表面波頻率的變化,采用激光超聲檢測(cè)單元在激勵(lì)位置附近接收所產(chǎn)生的超聲表面波信號(hào),對(duì)被接收的信號(hào)進(jìn)行傅里葉變換獲取其中心頻率,最后根據(jù)超聲表面波中心頻率與涂層厚度的單調(diào)關(guān)系實(shí)現(xiàn)涂層厚度的無(wú)損測(cè)量。
聲明:
“基于光柵激光超聲聲譜的薄膜涂層厚度無(wú)損測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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