本發(fā)明公開了一種無損評價光學(xué)元件損傷性能的方法，連續(xù)激光器能發(fā)出連續(xù)激光，經(jīng)第一能量調(diào)節(jié)器、第一透鏡、反射鏡、樣品正面后，照射到樣品背面，連續(xù)激光經(jīng)樣品反射的反射方向上設(shè)有殘余激光收集器；脈沖激光器能發(fā)出脈沖激光，經(jīng)第二能量調(diào)節(jié)器、縮束系統(tǒng)、劈板、第二透鏡后，照射到樣品背面。本發(fā)明通過對于待測光學(xué)元件相同的元件，進(jìn)行多樣品、多位置的測試，獲得此類光學(xué)元件中，熒光缺陷數(shù)據(jù)與激光損傷閾值和損傷密度的關(guān)聯(lián)關(guān)系，從而對待測樣品進(jìn)行測量時，通過測量其熒光缺陷數(shù)據(jù)，從而推算出損傷閾值和損傷密度。該方法可以通過無損檢測光學(xué)元件的熒光缺陷獲得光學(xué)元件的損傷性能水平，實現(xiàn)光學(xué)元件損傷性能的無損評價。