本發(fā)明公開(kāi)了一種激光系統(tǒng)用超光滑光學(xué)玻璃的無(wú)損清洗工藝，包括弱酸浸泡、純水漂洗、疵病檢測(cè)、有機(jī)洗劑清洗、純水漂洗、IPA脫水、IPA慢提拉干及潔凈度檢測(cè)等步驟；本發(fā)明的步驟是通過(guò)弱酸溶劑浸泡及超聲清洗的方式軟化基片表面殘留物，隨后利用純水進(jìn)行漂洗，純水漂洗完成后利用有機(jī)溶劑超聲清洗，去除表面的酸性洗劑殘留，隨后再次利用純水漂洗去除表面殘留的有機(jī)溶劑，純水漂洗完成后利用IPA進(jìn)行超聲脫水，最后利用IPA高溫蒸汽進(jìn)行烘干，去除表面的IPA殘留，實(shí)現(xiàn)超光滑光學(xué)玻璃的無(wú)損清洗，清洗完成后，利用光學(xué)顯微鏡進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，保證清洗工序的重復(fù)一致性。