本發(fā)明公開了一種大高寬比微結構的光學檢測方法，通過觀察不同微結構對入射光的不同反射情況，無損檢測微結構的側壁形貌，快速地判斷大高寬比微結構是否發(fā)生傾斜、扭曲。本發(fā)明可以對光刻膠和金屬微結構的側壁形貌進行無損檢測，也可以對光刻膠與金屬共存的微結構側壁形貌進行無損檢測。本發(fā)明中采集的是高襯度的圖像，結合樣品工作臺的快速掃描，可以實現(xiàn)對大尺寸樣品的快速檢測。本發(fā)明可以對工藝過程中的樣品進行檢測，能夠實現(xiàn)樣品的原位工況檢測。本發(fā)明中側壁傾角檢測精度與選擇的物鏡相關，物鏡的放大倍數(shù)越高可以提供越高的側壁傾角檢測精度，通常的，可以實現(xiàn)0.1°的側壁傾角檢測精度。