本發(fā)明涉及一種基于太赫茲時域光譜的軸套自潤滑涂層厚度檢測方法,包括以下步驟:S1、采用反射式太赫茲時域光譜系統(tǒng),利用空氣?金屬鏡的反射信號作為參考信號,利用空氣?樣品涂層的反射信號作為樣品信號,對兩個信號作傅里葉變換得到二者的頻域信號,由此得到參考信號和樣品信號的相位變化和反射率,進而計算樣品涂層的折射率;S2、建立太赫茲波在多介質(zhì)層的軸套自潤滑涂層內(nèi)部傳播的物理模型;S3、通過反射式太赫茲時域光譜系統(tǒng),獲得樣品的反射時域信號,從而獲得樣品時域信號中反射峰之間的延遲時間;結(jié)合步驟S1獲得的樣品涂層的折射率以及步驟S2建立的物理模型,計算樣品涂層的厚度。該方法有利于對軸套自潤滑涂層厚度進行高精度無損檢測。
聲明:
“基于太赫茲時域光譜的軸套自潤滑涂層厚度檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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