本實用新型公開了一種硅片微裂紋檢測系統(tǒng),包括激光控制器、轉(zhuǎn)動鏡控制器、激光源、反射鏡、轉(zhuǎn)動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件、推掃驅(qū)動裝置、計算機和載物臺,特點是激光源、反射鏡、轉(zhuǎn)動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件依次成光路連接;線陣電荷耦合元件的輸出信號電纜連接計算機;計算機連接激光控制器、轉(zhuǎn)動鏡控制器和推掃驅(qū)動裝置;推掃驅(qū)動裝置的步進電機通過滾珠絲杠連接載物臺;被測硅片置于載物臺上。本實用新型通過轉(zhuǎn)動鏡和推掃裝置的配合,實現(xiàn)對硅片的無接觸、無損傷地激光掃描,通過對獲取的紅外輻射圖像數(shù)據(jù)的智能處理和分析,即可以判斷硅片的完好性。
聲明:
“硅片微裂紋檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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