本發(fā)明屬于蒸汽發(fā)生器傳熱管及類(lèi)似換熱設(shè)備的無(wú)損檢測(cè)與維修技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸汽發(fā)生器氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)與檢漏方法，目的是為了解決高溫氣冷堆蒸汽發(fā)生器傳熱管實(shí)施無(wú)損檢測(cè)難度大的問(wèn)題。其特征在于：它包括吸槍定位裝置、吸槍組件、流量控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)、物理數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)；吸槍組件安裝在吸槍定位裝置上；吸槍定位裝置安裝在蒸發(fā)器水室上；流量控制系統(tǒng)與吸槍組件連接；氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)與吸槍組件連接；物理數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分別與流量控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)、溫度傳感器、壓力傳感器、氦氣濃度傳感器連接；數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)分別與吸槍定位裝置和物理數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)連接。